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净化车间防静电工作讲解

净化车间防静电地板的静电如何减少?尽量减小静电,在这净化工作环境中比较好的措施:

       1、尽量采用性质相似器材,减少摩擦过程中产生的静电电荷;

       2、尽量采用导静电(是一种处于静止状态的电荷)型或静电耗材型材料的器材,减少接触摩擦分离过程中产生积累静电荷;

       3、尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。

       泄放和中和这是控制静电三部曲的第二步,在微电子生产的净化室中通常的措施(指针对问题的解决办法)是接地,采用导电性或耗散性材料泄放静电荷,以及离子化消电器和静电荷。

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